هر هوائی که به منطقه کنترل شده وارد شود باید فیلتر شود. فیلتر کردن هوا شامل جدا کردن "ذرات" از جریان های هوا می شود.روش حذف آنها تقریبا به اندازه محدوده اندازه ذرات تولید شده متفاوت استدرک تکنیک های جدایی نیاز به تعریف دقیق از ذرات دارد. همانطور که ذرات بسیار کوچک می شوند، آنها رفتار خود را مانند ذرات مانند مولکول های فاز گاز متوقف می کنند.دشوار است که بگوییم آیا چنین ذرات کوچک در واقع در هوا تعلیق شده اند (ذرات) یا در سراسر آن پخش شده اند (گاز یا بخار)مرز پایین که ذرات به عنوان ذرات واقعی عمل می کنند حدود 0.01 میکرو است.تئوری عادی جدایی برای ذرات زیر این اندازه اعمال نمی شود و حذف آنها از هوا نیاز به تکنیک های اختصاصی برای مواد گازی دارد.ذرات بالاتر از 0.01 میکروم معمولاً قابل فیلتر شدن محسوب می شوند. تمام هوای وارد اتاق تمیز باید با یک یا چند فیلتر تصفیه شود.فیلترهای هوا ذرات با کارایی بالا (HEPA) و فیلترهای هوا با نفوذ بسیار کم (ULPA) رایج ترین فیلترهای مورد استفاده در برنامه های اتاق تمیز هستند.
فیلترهای هوا از رسانه های فیلتر، مهر و موم ها، یک قاب و گاهی اوقات یک محافظ و / یا گاسکت ساخته شده اند.
1) رسانه مواد فیلتر کننده است. انواع رایج رسانه ها شامل فیبر شیشه ای، فیبر مصنوعی، فیبر غیر بافته و PTFE است.فیلترهای با کارایی بالا از رسانه های فیبر شیشه ای زیر میکروونی که در یک قاب آلومینیومی قرار دارند استفاده می کنند.
2) مهر و موم مواد چسبنده است که یک مهر و موم ضد نشت بین رسانه فیلتر و قاب ایجاد می کند.
3) قاب جایی است که رسانه فیلتر وارد می شود. این می تواند از مواد مختلف از جمله آلومینیوم، فولاد ضد زنگ، پلاستیک یا چوب ساخته شود.
4) Faceguard یک صفحه نمایش متصل به فیلتر برای محافظت از رسانه های فیلتر در طول دستکاری و نصب است.
5) گاسکت یک ماده لاستیکی یا اسفنج مانند است که برای جلوگیری از نشت هوا بین فیلتر و محفظه آن با فشرده سازی این دو با هم استفاده می شود. هوا از طریق سمت بالا به فیلتر وارد می شود.از فيلتر عبور ميکنهاز طرف دیگر، آلودگی ها از هوا خارج می شوند و هوای پاک از طرف پایین جریان خارج می شود.
تماس با شخص: Mrs. Zhao
تلفن: 86 20 13378693703
فکس: 86-20-31213735