اخبار شرکت میکروالکترونیک و تقاضا برای محیط های مدولار ISO 4

همانطور که تولید میکروالکترونیک به سمت گره های فرآیند 3nm و 2nm پیشرفت می کند، این صنعت با چالش های بی سابقه ای در کنترل آلودگی زیست محیطی روبرو می شود.محیط های اتاق های تمیز ISO 4 که تعداد ذرات را به 10 محدود می کنداز این رو، در حال حاضر، تعداد زیادی از ذرات 0.1μm در هر متر مکعب برای اطمینان از بهره وری و قابلیت اطمینان محصول ضروری شده است.این تقاضا باعث ایجاد نوآوری در راه حل های ماژولار اتاق های تمیز می شود که ترکیب تمیز بسیار بالا با چابکی مورد نیاز برای انتقال سریع فناوری است.

اتاق های تمیز ثابت سنتی در تلاشند تا با تکامل سریع صنعت میکروالکترونیک کنار بیایند. ساخت یک مرکز جدید ISO 4 می تواند 18 تا 24 ماه طول بکشد و بیش از یک میلیارد دلار هزینه داشته باشد.ایجاد دشواری در انطباق سریع با تغییرات الزامات فرآیند یا تولید در مقیاساتاق های تمیز ماژولار یک جایگزین تحول دهنده را ارائه می دهند، با گچ های از پیش ساخته شده که می توانند در مدت 3 تا 6 ماه در حالی که کنترل های سختگیرانه زیست محیطی را حفظ می کنند، مستقر شوند.

این راه حل های ماژولار شامل فناوری های پیشرفته کنترل آلودگی متناسب با تولید میکروالکترونیک است. ویژگی های کلیدی عبارتند از:

• سیستم های تصفیه لایه دار: فیلترهای HEPA/ULPA در ترکیب با سیستم های حذف آلودگی مولکولی (AMC) برای حذف مواد شیمیایی موجود در هوا که وافرهای نیمه هادی را تجزیه می کنند
• کنترل دقیق محیط زیست: ± 0.1°C ثبات دمایی و ± 1٪ کنترل رطوبت برای جلوگیری از انحراف وافره و اطمینان از نتایج لیتوگرافی سازگار
• مقیاس پذیری ماژولار: پوپ ها را می توان به راحتی دوباره تنظیم یا گسترش داد تا ابزار فرآیند جدید را جای دهد یا ظرفیت تولید را افزایش دهد
• نظارت در زمان واقعی: سنسورهای فعال شده توسط اینترنت اشیا داده های مداوم در مورد تعداد ذرات، دمای هوا، رطوبت و غلظت گاز را ارائه می دهند، با تجزیه و تحلیل مبتنی بر هوش مصنوعی پیش بینی رویدادهای بالقوه آلودگی