اخبار شرکت ویژگی های اتاق های تمیز مدولار در کارخانه های نیمه هادی چیست؟

اتاق‌های تمیز مدولار با منطق "بلوک ساختمانی" طراحی شده‌اند و به کارخانه‌های نیمه‌هادی اجازه می‌دهند تا چیدمان فضا را مطابق با الزامات فرآیند خاص تنظیم کنند.

به عنوان مثال، مناطق مربوط به لیتوگرافی نوری، حکاکی و بسته‌بندی را می‌توان به طور مستقل با سطوح مختلف پاکیزگی (از ISO 1 تا ISO 9) پیکربندی کرد.

این انعطاف‌پذیری نیاز به بازسازی در مقیاس بزرگ را هنگام ارتقاء خطوط تولید از بین می‌برد و زمان توقف را به طور قابل توجهی کاهش می‌دهد.

پنل‌های مدولار که معمولاً از آلیاژ آلومینیوم یا فولاد گالوانیزه ساخته می‌شوند، می‌توانند به سرعت مونتاژ و جدا شوند و از توسعه سریع یا تنظیم مناطق اتاق تمیز با تغییر مقیاس تولید پشتیبانی می‌کنند.

هر واحد اتاق تمیز مدولار با سیستم‌های آب‌بندی یکپارچه، از جمله اتصالات واشر و کنترل اختلاف فشار، مهندسی شده است تا از آلودگی متقابل بین مناطق جلوگیری کند.

سیستم‌های تهویه مطبوع (HVAC) نیز مدولار هستند و واحدهای هواساز (AHU) اختصاصی برای هر بخش دارند که کنترل دقیقی بر دما (±0.5 درجه سانتی‌گراد)، رطوبت (±2%) و تعداد ذرات را تضمین می‌کند.

فیلترهای هوای ذرات با راندمان بالا (HEPA) یا هوای با نفوذ فوق‌العاده کم (ULPA) در پنل‌های سقف و دیوار تعبیه شده‌اند و جریان هوای لمینار یک‌طرفه را فراهم می‌کنند که تجمع ذرات را روی ویفرها به حداقل می‌رساند.

علاوه بر این، اتاق‌های تمیز مدولار دارای سیستم‌های تخلیه کف و مدیریت پسماند یکپارچه هستند که مواد خطرناک را در مناطق خاصی نگه می‌دارند تا از انتشار آلاینده‌ها جلوگیری شود.