اخبار شرکت کلاس کلی اتاق های تمیز مدولار در کارخانه های نیمه هادی چیست؟

کلاس کلی اتاق‌های تمیز مدولار در کارخانه‌های نیمه‌هادی چیست؟

اتاق‌های تمیز مدولار در کارخانه‌های نیمه‌هادی برای برآورده کردن استانداردهای سختگیرانه پاکیزگی هوا که توسط فرآیندهای تولیدی خاص دیکته می‌شود، طراحی شده‌اند و عمدتاً با سیستم طبقه‌بندی ISO 14644-1 مطابقت دارند. رایج‌ترین سطوح به شرح زیر است:

1. کلاس ISO 4 (معادل Fed-Std-209E Class 10)این بالاترین سطحی است که معمولاً به صورت مدولار پیاده‌سازی می‌شود. این سطح برای حیاتی‌ترین مناطق فرآیندی، مانند بخش‌های لیتوگرافی پیشرفته، مناطق کلیدی رسوب‌دهی لایه نازک، و محیط‌های لیتوگرافی EUV (فرابنفش شدید) رزرو شده است. این مناطق به تعداد ذرات نزدیک به صفر برای ذرات به کوچکی 0.1 میکرومتر نیاز دارند. اتاق‌های تمیز مدولار از طریق آرایه‌های متراکم واحدهای فن فیلتر (FFU) HEPA یا ULPA در سقف به این امر دست می‌یابند و جریان هوای لمینار عمودی یک‌طرفه را به سمت کف مرتفع ایجاد می‌کنند. این سیستم‌ها با کنترل‌های دقیقی برای دما، رطوبت و لرزش یکپارچه شده‌اند.

2. کلاس ISO 5 (Class 100)این استاندارد اصلی برای مناطق اصلی ساخت است. اکثر اتاق‌های تمیز مدولار برای فرآیندهایی مانند دیفیوژن، اچینگ، کاشت یون و پلناریزاسیون شیمیایی مکانیکی (CMP) در کارخانه‌های اصلی منطق و حافظه بر اساس ISO 5 ساخته می‌شوند. این اتاق‌ها محیطی کنترل‌شده را فراهم می‌کنند که در آن تعداد ذرات ≥0.5 میکرومتر به 3,520 در متر مکعب محدود می‌شود. ساختار مدولار امکان چیدمان کارآمد ابزارهای فرآیندی، کانال‌های تاسیساتی و فضاهای هوای برگشتی را فراهم می‌کند.

3. کلاس ISO 6 (Class 1,000)اینها معمولاً برای مناطق کمی کمتر حیاتی، مانند برخی مناطق اندازه‌گیری، برخی خطوط مونتاژ و بسته‌بندی، ایستگاه‌های بازرسی ویفر، و راهروهای انتقال مواد تمیز (AMHS) استفاده می‌شوند. همچنین برای تولید نیمه‌هادی‌های قدرت یا دستگاه‌ها در گره‌های فرآیندی بالغ مناسب هستند.

4. کلاس ISO 7 (Class 10,000) و کلاس ISO 8 (Class 100,000)اتاق‌های تمیز مدولار در این سطوح برای عملکردهای پشتیبانی و جانبی استفاده می‌شوند. آنها معمولاً برای بخش‌های سرویس تجهیزات، مناطق تامین مواد شیمیایی و گاز (مناطق تحویل عمده)، اتاق‌های لباس پوشیدن و مناطق آماده‌سازی بارگیری/تخلیه ویفر استفاده می‌شوند. آنها به عنوان مناطق بافر عمل می‌کنند تا از رسیدن آلودگی به هسته اصلی کارخانه با کلاس بالاتر جلوگیری کنند.